アドバンスド・サーフェス・テクノロジーズ（AST）半導体は、業界をリードする垂直統合型表面技術グループであり、最先端の半導体アプリケーションで使用される戦略的消耗部品の初期開発・生産から定期的な改修・予備品に至るまで、ライフサイクル全般にわたるサポートに注力している。
Technetics Semi
Technetics Semi社では、半導体市場において50年以上の経験があり、トップダウンで卓越したオペレーションを行っています。当社は、Tier1システム、ソリューション、エッジ溶接ベローズ（Belfab）、ESC表面改質、コーティング技術を、世界有数の半導体設備およびウェハー製造企業に供給しています。
テクネティックス・セミ社は、高真空チャンバー環境下で独自の低温蒸着プロセスを用いてY203、Al203、YF3などを蒸着する新しい薄膜コーティング技術を開発した。この成膜は耐エッチング性の高い薄膜コーティングであり、パーティクルの発生を抑え、チャンバー部品の寿命を向上させます。
アリューザ
Alluxa社は、高性能光学フィルターと薄膜コーティングのメーカーであり、世界のリーダーです。先進的なSIRRUS™プラズマ蒸着プロセス、ウルトラ・ウルトラナローシリーズの光学フィルターや薄膜コーティング、OEMシステム用のカスタム光学フィルターや薄膜コーティングなどのサービスを提供しています。当社は、知識、設計の専門知識、精密コーティング、高度な計測テスト能力で知られています。
LeanTeq
LeanTeqは、最先端半導体技術ノードのクリーニング、テスト、検証サービスを提供するリーディングプロバイダーです。職人技を駆使した化学的手法で、半導体の製造に使用される部品のクリーニングと修復を行っています。
化学的プロセスを用いて、製造に使用される部品をナノレベルまで確実に洗浄し、お客様のビジネス目標をサポートする最終製品の品質を確保します。当社の化学者は、加工工具部品の修復、高純度部品の洗浄、表面処理の実施、洗浄プロセスの開発と改善のためのエンジニアリング・サービスのサポートにおいて、部品の寿命を最大限に延ばすために適切な量の処理を行います。
LeanTeqは技術革新の専門パートナーです。当社は化学物質と表面に関する知識を駆使して、お客様の研究開発チームと協力し、新しいプロセスを開発し、新しい部品を生産に投入します。
ネクスエッジ
NxEdgeは半導体チャンバー部品およびアセンブリの垂直統合製造のリーダーであり、20年以上にわたり半導体業界に貢献しています。IDM、ファウンドリ、OEMをサポートしています。
NxEdgeは、大手半導体OEM企業のOPMとして、蒸着、エッチング、CMPなど幅広いプロセスアプリケーションとプラットフォームをサポートしています。
NxEdgeは、様々な特殊プロセスのリーダーであり、当社のエンジニアリングスタッフは、7nmおよび5nm以下の技術ノードに沿った次世代のユニークなプロセスを開発しています。
NxEdgeは、300mmおよび200mm工場で使用される再コーティングサービスを通じて、ライフサイクル管理を提供する。
サービスには以下が含まれる：
- イットリアベースの溶射皮膜、Al203、アルミニウム、その他の特殊材料
- エンドユーザーと直接、またはOEM TKMプログラムを介して、ライフサイクル全体を管理するためのコンポーネントのコピーエグザクトリコーティング
- オリジナル部品製造用金属コーティング
- ポリマーコーティング
- クラス10およびクラス100のクリーンルーム
- 銅の偏析
- CNC精密加工
- 陽極酸化とめっき
- フル分析ラボ
- LPCおよびICPMS機能を備えた高度な洗浄
