静電チャック台座
半導体チャンバー技術の世界的リーダーによる高性能なペデスタルソリューション。
特徴と優位性
Technetics Semiは、世界の主要な半導体製造装置メーカーやウェーハファブリケーション企業から信頼を得ているTier Iシステムおよびソリューションサプライヤーです。当社の実証済みのペデスタル技術、製造、テストおよび修理の専門知識、シックス・シグマへの注力は、製品のライフサイクルを通してプロセスの問題を解決し、性能を向上させ、所有コストを削減します。Techneticsのセミアセンブリは、今日使用されている最も洗練された機器のプロセスクリティカルな要素です。
製品用途
Technetics Semiは、10年以上にわたってPVD静電チャック（ESC）を製造してきました。当社は、世界最大の機器メーカーのアルミニウムおよび銅のバリアー・シード・インターコネクト・プロセス用に、150mmから300mmまでのESCを7,000個以上製造してきました。さらに、最適なESCの性能を実現するために必要な、重要なコーティングプロセスの適用と管理も行っています。
