静电卡盘基座


来自半导体室技术的世界领导者的高性能基座解决方案。


特点和优点


Technetics Semi是全球领先的半导体资本设备和晶圆制造公司值得信赖的一级系统和解决方案供应商。我们成熟的基座技术、制造、测试和维修专业知识以及对六西格玛的关注解决了工艺问题,提高了性能并降低了整个产品生命周期的拥有成本。Technetics半组件是当今使用的最复杂设备的工艺关键要素。



产品应用


Technetics Semi生产PVD静电卡盘(ESCs)已经超过10年。我们已经为世界上最大的设备制造商生产了超过7000个从150毫米到300毫米的电调,用于铝和铜阻隔种子互连工艺。此外,我们应用和管理所需的关键涂层工艺,以实现最佳的ESC性能。