정전기 척 받침대
반도체 챔버 기술 분야의 세계적인 리더가 제공하는 고성능 받침대 솔루션입니다.
특징과 우수성
테크네틱스 세미는 세계 유수의 반도체 자본 장비 및 웨이퍼 제조 회사에 신뢰할 수 있는 티어 1 시스템 및 솔루션 공급업체입니다. 당사의 입증된 받침대 기술, 제조, 테스트 및 수리 전문 지식과 식스시그마에 중점을 두어 제품 수명 주기 동안 공정 문제를 해결하고 성능을 개선하며 소유 비용을 절감합니다. 테크네틱스 세미 어셈블리는 오늘날 사용되는 가장 정교한 장비의 공정 핵심 요소입니다.
제품 적용
테크네틱스 세미는 10년 이상 PVD 정전기 척(ESC)을 제조해 왔습니다. 당사는 세계 최대 장비 제조업체를 위해 알루미늄 및 구리 배리어 시드 인터커넥트 공정을 위한 150mm부터 300mm까지 7,000개 이상의 ESC를 생산해 왔습니다. 또한 최적의 ESC 성능을 구현하는 데 필요한 핵심 코팅 공정을 적용하고 관리합니다.
