金属基座和加热器组件


来自半导体室技术世界领导者的高性能基座解决方案


特点和优点


在要求严格的半导体市场中，可靠的产品性能、高产量和低拥有成本通常由具有竞争力的周期寿命保证来支持，Technetics半台架可以帮助你减少风险和降低费用。

ESC Pedestal without wafer
ESC Pedestal without wafer
ESC Pedestal without wafer
ESC Welding
ESC Welding
ESC Pedestal
ESC Pedestal

与专家交谈

产品应用


Technetics Semi经验丰富的开发、设计和制造团队将50多年的波纹管组件知识与最新的腔体技术相结合，创造出超越您应用要求的产品。PVD、CVD和蚀刻工艺系统的设计可以提高产量和延长寿命，因为我们的工程师将与您合作，提供设计方案和先进的基座涂层，以提高可靠性，尽量减少颗粒的产生，并改善热均匀性。