Elektrostatische Spannfutter-Pedestale
Leistungsstarke Sockellösungen von einem Weltmarktführer in der Halbleiterkammertechnologie.
Merkmale & Vorteile
Technetics Semi ist ein zuverlässiger Tier-I-System- und Lösungslieferant für die weltweit führenden Unternehmen im Bereich Halbleiter-Investitionsgüter und Wafer-Fertigung. Unsere bewährten Sockel-Technologien, unser Fertigungs-, Test- und Reparatur-Know-how und unser Six-Sigma-Fokus lösen Prozessprobleme, verbessern die Leistung und reduzieren die Betriebskosten während des gesamten Produktlebenszyklus. Technetics Semi-Baugruppen sind prozesskritische Elemente der anspruchsvollsten Anlagen, die heute im Einsatz sind.
Produktanwendungen
Technetics Semi stellt seit über 10 Jahren PVD Electro-Static Chucks (ESCs) her. Wir haben über 7.000 ESCs von 150mm bis 300mm für Aluminium- und Kupfer-Barriereseed-Interconnect-Prozesse für die größten Gerätehersteller der Welt produziert. Darüber hinaus wenden wir die kritischen Beschichtungsprozesse an, die für eine optimale ESC-Leistung erforderlich sind, und verwalten diese.
