Halbleiter-Vakuumpumpe HELICOFLEX® Fallstudie
Technetics Verbesserns Vakuum Leistung der Dichtung mit Innovative Technik
Branchenführende Experten für Vakuum und Abgasreinigung in der Halbleiterfertigung mit Technetics zusammenarbeiten Gruppe die Entwicklung effizienter Lösungen die neue Maßstäbe setzen.
In der Halbleiterindustrie sind Vakuumpumpen unerlässlich, um Verunreinigungen in der Prozesskammer zu begrenzen. Eine effektive Vakuumpumpe ermöglicht eine höhere Prozesseffizienz. Diese Technologie hat jedoch weitreichende Auswirkungen, wenn sie nicht korrekt funktioniert.
Ein Vakuumpumpenhersteller wandte sich an Technetics, weil er eine Gehäusedichtung für eine Halbleiter-Vakuumpumpe benötigte. Die Dichtung ist notwendig, um das Eindringen von Luft in die Vakuumkammer zu verhindern. Die Pumpe, die dank ihres einzigartigen Rotors und Stators bereits sehr leistungsfähig ist, bietet eine hervorragende Vakuumleistung. Das intelligente Design reduziert außerdem den Geräuschpegel und verringert die Ermüdung des Bedieners, und die Ganzmetallkonstruktion sorgt für einen lang anhaltenden und zuverlässigen Betrieb.
Bei einer Vakuumgehäusetemperatur von 200°C und einer erforderlichen Leckrate von 10-6 mbar.l/sec suchte man jedoch nach einer Dichtungslösung, die die geringere Leckrate erfüllen konnte und dennoch leistungsstark, effizient, zuverlässig und langlebig war.
Technik HELICOFLEX® Dichtung reduziert erfolgreich Leckagen
Zusammenarbeit mit dem Vereinigten Königreich des Kunden Ingenieurteam, die Dichtungssystem Entwurf für die Halbleiter-Vakuumpumpe war eine Erfolg. Über die Partnerschaft, diey aufgenommen die Technetics' Siegel in den Herstellungsprozess in Korea. Die Zugehörigkeit fühlte sich natürlich an denn der Vertrauen bereits etabliert zwischen den Unternehmen.
Technetics HELICOFLEX® Dichtung begrenzt erfolgreich Verunreinigungen in Halbleiter-Vakuumpumpe
Durch den Einsatz der HELICOFLEX® Lösung von Technetics hält die Pumpe des Kunden einen konstanten Vakuumdruck aufrecht und verhindert so eine katastrophale Umweltverschmutzung in der Kammer. Die Dichtung trägt auch dazu bei, den Verschleiß der Vakuumpumpenkomponenten zu reduzieren und die Lebensdauer der Pumpe zu verlängern.
Nachdem sie die Effizienz und Zuverlässigkeit unserer Dichtungen durch ihre Prototyp-Bestellung kennengelernt haben, freuen sie sich über die regelmäßigen Produktionslieferungen. Dank des patentierten Designs der HELICOFLEX® Dichtung erhalten sie bei ihren Großaufträgen ein Höchstmaß an Konsistenz.
Wenn es um die Langlebigkeit von Vakuumdichtungen geht, setzen wir den Industriestandard. Unsere Metalldichtungen sind innovativ, haltbar und langlebig, ganz im Gegensatz zu den durchschnittlichen O-Ringen aus Gummi. Sind Sie bereit, Ihre Dichtungslösung zu finden, die immer funktioniert? Kontaktieren Sie uns noch heute!
