半导体真空泵HELICOFLEX®案例研究
技术改进s 真空系统 密封性能 与 创新工程
业界领先的真空和消减专家 在半导体制造领域 与Technetics合作 集团 发展高效的 解决方案 确立了新的标准。
在半导体行业，真空泵对于限制加工室中的杂质至关重要。有效的真空泵可提高加工效率。然而，如果这项技术不能正常工作，则会产生深远的影响。
一家真空泵制造商来到泰尼凯，需要为半导体真空泵提供外壳密封。该密封件是防止空气泄漏到真空室所必需的。由于其独特的转子和定子，该泵已经具有很高的性能，可以提供卓越的真空性能。智能化的设计还降低了噪音水平，最大限度地减少了操作人员的疲劳，全金属结构确保了泵的持久可靠运行。
然而，由于真空套管温度为200°C，泄漏率要求为10-6 mbar.l/sec，他们一直在寻找一种密封解决方案，既能满足较低的泄漏率要求，又能保持高性能、高效率、可靠性和耐用性。
技术 HELICOFLEX® 密封成功减少泄漏
合作 与客户的英国 工程团队、 (iii)... 密封系统 设计 为 半导体真空泵 成功. 通过 合作伙伴, (iii)...y 公司 (iii)... 在韩国的生产过程中使用泰技的印章。 ǞǞǞ 隶属关系 感觉自然 因为 的 信任 已建立 公司之间.
技术学 HELICOFLEX® 密封件成功限制半导体真空泵中的杂质
使用泰技的HELICOFLEX®解决方案，客户的真空泵可以保持稳定的真空压力，防止腔体内发生灾难性的环境污染。密封还有助于减少真空泵部件的磨损，延长泵的使用寿命。
当他们通过样品订单体验到我们密封件的高效性和可靠性后，他们高兴地--急切地--收到了定期生产的货物。由于HELICOFLEX®密封件的专利设计，他们在批量订单中获得了最大的一致性。
考虑到真空密封的长寿命价值，我们设定了行业标准。我们的金属密封件具有创新性、耐用性和持久性，不同于普通的橡胶O形圈。准备好为您提供始终如一的密封解决方案了吗？ 今天就联系我们！
