金属製の台座およびヒーターアセンブリ
半導体チャンバー技術の世界的リーダーによる高性能なペデスタルソリューション
特徴と優位性
要求の厳しい半導体市場では、信頼性の高い製品性能、高い歩留まり、低いコストオブオーナーシップが、競争力のあるサイクルライフ保証に裏付けられていることが多いのですが、テクネティックスのセミ・ペデスタルは、お客様のリスク軽減とコスト削減に貢献します。
製品用途
Technetics Semiの経験豊富な開発・設計・製造チームは、50年以上にわたるベローズ部品の知識と最新のチャンバー技術を組み合わせ、お客様のアプリケーション要件を超える製品を生み出します。PVD、CVD、Etchプロセスシステムは、歩留まりの向上と長寿命化のために設計することができます。当社のエンジニアはお客様と協力して、信頼性を高め、パーティクルの発生を最小限に抑え、熱均一性を向上させる設計ソリューションや高度なペデスタルコーティングを提供します。
