半导体制造化学品交付案例研究

挑战：密封存储运输的剧毒化学品

半导体制造过程需要使用h剧毒化学品.ǞǞǞ 化工厂提供这些化学品需要一个真空密闭的密封运送其产品到半导体加工地点.所需的化学品容器 a 真空密封 a 氦气密封无密封和正压。由于化学品具有腐蚀性、塑料密封圈不是考虑因素.

解决方案： A 高工程金属密封, helicoflex® Delta

HELICOFLEX® DELTA密封被认为是该应用的最佳解决方案。它在密封面上有两个小脊，即 "Deltas"。密封轨道上的高接触应力使HELICOFLEX® DELTA密封件成为要求超低氦气泄漏率的超高真空应用的最佳选择。该解决方案可实现120摄氏度2barG和氦气密封真空。2017年收到原型订单，并成功完成测试。随着半导体加工需求的持续增长，Technetics每年继续向该客户提供数千个精密金属密封件。