半导体制造化学品交付案例研究

挑战: 密封存储 运输 剧毒化学品  

半导体制造过程需要使用h剧毒化学品.ǞǞǞ 化工厂 提供这些化学品 需要一个真空密闭的密封 运送 其产品半导体加工 地点.所需的化学品容器 a 真空 密封 a 氦气密封 密封和正压。 由于化学品具有腐蚀性、 塑料 密封圈 不是 考虑因素. 

 解决方案: A 工程金属密封, helicoflex® Delta 

HELICOFLEX® DELTA密封被认为是该应用的最佳解决方案。它在密封面上有两个小脊,即 "Deltas"。密封轨道上的高接触应力使HELICOFLEX® DELTA密封件成为要求超低氦气泄漏率的超高真空应用的最佳选择。该解决方案可实现120摄氏度2barG和氦气密封真空。2017年收到原型订单,并成功完成测试。随着半导体加工需求的持续增长,Technetics每年继续向该客户提供数千个精密金属密封件。