Fabrication de semi-conducteurs Étude de cas sur la livraison de produits chimiques
Le défi : Stockage étanche et transport de Produits chimiques hautement toxiques
Le processus de fabrication des semi-conducteurs nécessite l'utilisation de hProduits chimiques hautement toxiques. Les usine chimique fournir ces produits chimiques a besoin d'un joint étanche au vide pour transporter leur produit à la traitement des semi-conducteurs emplacement. Le conteneur de produits chimiques requis a vide sceller avec a étanchéité à l'héliumness et pression positive. En raison de la nature caustique des produits chimiques, plastique scellés ne sont pas une considération.
La solution : A Très élevé Joint métallique d'ingénierie, HELICOFLEX® DELTA
Le joint HELICOFLEX® DELTA a été identifié comme une solution optimale pour cette application. Il incorpore deux petites crêtes, ou "Deltas", sur la face du joint. La contrainte de contact élevée dans la piste du joint fait du joint HELICOFLEX® DELTA un excellent choix pour les applications à ultra-vide qui nécessitent des taux de fuite d'hélium ultra-faibles. Cette solution permet d'atteindre un vide de 120 degrés C 2barG et étanche à l'hélium. La commande du prototype a été reçue en 2017 et les tests ont été réalisés avec succès. Technetics continue de fournir des milliers de joints métalliques de précision chaque année à ce client satisfait, car la demande de traitement des semi-conducteurs continue d'exploser.
