Fallstudie über die Lieferung von Chemikalien bei der Halbleiterherstellung
Die Herausforderung: Leckdichte Lagerung und Transport von Hochgiftige Chemikalien
Der Herstellungsprozess von Halbleitern erfordert den Einsatz von hhochgiftige Chemikalien. Die Chemieanlage Bereitstellung dieser Chemikalien eine vakuumdichte Versiegelung benötigt zu transportieren ihr Produkt zum Halbleiterfertigung Standort. Der erforderliche Chemikalienbehälter a Vakuum Siegel mit a Helium leckdichtness Dichtung und Überdruck. Aufgrund der ätzenden Natur der Chemikalien, Kunststoff Dichtungen sind keine Berücksichtigung.
Die Lösung: A In hohem Maße Technische Metalldichtung, HELICOFLEX® DELTA
Die HELICOFLEX® DELTA Dichtung wurde als optimale Lösung für diese Anwendung identifiziert. Sie verfügt über zwei kleine Rippen oder "Deltas" auf der Dichtungsfläche. Die hohe Kontaktspannung in der Dichtungsbahn macht die HELICOFLEX® DELTA-Dichtung zu einer ausgezeichneten Wahl für Ultrahochvakuumanwendungen, die extrem niedrige Helium-Leckraten erfordern. Mit dieser Lösung wird ein 120 Grad C 2barG und Helium leckdichtes Vakuum erreicht. Der Prototyp wurde 2017 in Auftrag gegeben und die Tests erfolgreich abgeschlossen. Technetics liefert weiterhin Tausende von Präzisionsmetalldichtungen pro Jahr an diesen zufriedenen Kunden, da die Nachfrage nach Halbleiterverarbeitung weiterhin boomt.
