半導体製造 化学薬品納入ケーススタディ
挑戦： 漏れのない収納 輸送 の 高毒性化学物質
半導体の製造工程では、h毒性の高い化学物質.その 化学工場 これらの化学物質を提供する 真空密閉が必要だった 輸送 自社製品 に対する 半導体加工 場所.必要な薬品容器 a 真空 封印 a ヘリウムリークタイトネス シールと陽圧。 化学薬品は腐食性があるためだ、 プラスチック シール でない。 考察.
解決策 A 非常に エンジニアード・メタル・シール, ヘリコフレックス・デルタ
HELICOFLEX® DELTAシールは、この用途に最適なソリューションとして特定された。シール面に2つの小さな隆起（デルタ）があります。HELICOFLEX® DELTAシールは、シールトラックに高い接触応力があるため、超低ヘリウムリークレートを必要とする超高真空アプリケーションに最適です。このソリューションは120 deg.C 2barGとヘリウムリークタイト真空を達成する。プロトタイプの受注は2017年に行われ、テストは成功裏に終了した。テクネティックスは、半導体加工の需要が引き続き活況を呈する中、この満足した顧客に年間数千個の精密金属シールを供給し続けている。
